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在高真空抽氣過(guò)程的起始階段，泵的很大的未經(jīng)烘烤的內(nèi)表面會(huì)吸附水，然后再在較低的壓力下重新釋放出來(lái)。這種效應(yīng)在無(wú)閥門的系統(tǒng)中更為明顯，因?yàn)樗赡鼙任幢┞对趬毫Ω哂?50Pa的空氣環(huán)境的有閥門的系統(tǒng)吸附更多的水蒸氣。系統(tǒng)停機(jī)時(shí)，先關(guān)閉高真空閥，如果有液氮冷阱的話，還要將冷阱加熱。在冷阱達(dá)到平衡溫度后，關(guān)掉前級(jí)管道閥，再切斷渦輪分子泵電動(dòng)機(jī)的電源，使分子泵的轉(zhuǎn)子減速。
一般來(lái)說(shuō)，泵轉(zhuǎn)子完全停止需要十分鐘或更長(zhǎng)的時(shí)間。在分子泵轉(zhuǎn)子減速期間，來(lái)自前級(jí)管道的碳?xì)浠衔锖蜏u輪分子泵的潤(rùn)滑油蒸氣會(huì)迅速地向泵的進(jìn)氣口上方區(qū)域擴(kuò)散。為了防止機(jī)械泵油蒸氣和渦輪分子泵潤(rùn)滑油蒸氣的返流，在切斷渦輪分子泵電動(dòng)機(jī)的電源后，要用一股干燥的反向氣流對(duì)分子泵進(jìn)行放氣。
例如，應(yīng)該在泵轉(zhuǎn)子速度下降到很大轉(zhuǎn)速的50%左右時(shí)，在泵進(jìn)氣口上方的某處或在轉(zhuǎn)子組件上部連續(xù)充入氣或氮?dú)?，直到泵?nèi)壓力達(dá)到大氣壓。通過(guò)從閥門3（見圖1）充入氣體就可適當(dāng)?shù)赝瓿蛇@一操作。當(dāng)渦輪分子泵以額定速度運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，不應(yīng)經(jīng)常充入壓力為大氣壓的氣流。這樣做對(duì)軸的壽命是不利的。當(dāng)前級(jí)管道閥關(guān)閉后，即可關(guān)掉機(jī)械泵系統(tǒng)，并用放氣閥對(duì)機(jī)械泵內(nèi)進(jìn)行放氣。停機(jī)后應(yīng)立即關(guān)掉冷卻水以防止內(nèi)部冷凝。在正常工作時(shí)，可把水溫調(diào)節(jié)到略高于來(lái)消除泵體外部可能形成的冷凝物。
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分子泵的葉輪是高速旋轉(zhuǎn)的精密件，在分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)中，不允許固體雜物落到葉輪上,以避免損壞葉輪。也要防止大氣突然沖入正在運(yùn)轉(zhuǎn)中的分子泵。因?yàn)檫@也有可能損壞葉輪，此外,分子泵運(yùn)轉(zhuǎn)過(guò)程中,要遠(yuǎn)離強(qiáng)磁場(chǎng)。結(jié)論改變氦質(zhì)譜檢漏儀的分子泵轉(zhuǎn)速，檢測(cè)信號(hào)值發(fā)生變化，儀器在運(yùn)行時(shí)，分子泵轉(zhuǎn)速改變后，只要改變漏率信號(hào)的修正系數(shù)，無(wú)需再次定標(biāo)，即可保證檢測(cè)漏率的準(zhǔn)確性。
若儀器檢測(cè)信號(hào)時(shí)，信號(hào)值偏小，可以考慮降低儀器的分子泵轉(zhuǎn)速，來(lái)提高檢測(cè)信號(hào)值，提高儀器的檢測(cè)靈敏度。：渦輪分子泵應(yīng)用于角分辨光電子能譜ARPES渦輪分子泵應(yīng)用于角分辨光電子能譜ARPES。角分辨光電子能譜Angleresolvedphotoemissipectroscopy簡(jiǎn)稱ARPES利用光電效應(yīng)研究固體的電子結(jié)構(gòu).
光電子在真空飛行的過(guò)程中,被一個(gè)接受角度很小的能量分析器收集計(jì)數(shù).角分辨光電子能譜主要由光源,電子分析器,樣品控制臺(tái)以及超高真空的獲得和維護(hù)系統(tǒng)組成.分子泵廣泛配套在真空系統(tǒng)已保證超高真空的獲得,同時(shí)搭配殘余氣體分析儀PrismaPlus共同使用.
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噪音測(cè)試通過(guò)在以下12種不同運(yùn)行狀態(tài)和方向下對(duì)一批泵進(jìn)行一系列測(cè)試，來(lái)驗(yàn)證泵噪音：垂直、水平和翻轉(zhuǎn)位置；高溫和低溫；全速和低速。在正常運(yùn)行狀態(tài)下，168次測(cè)量得到的平均噪音為41dB(A)+/-3σ。包裝測(cè)試通過(guò)對(duì)帶包裝的泵進(jìn)行測(cè)試來(lái)驗(yàn)證包裝性能，在測(cè)試時(shí)，使帶包裝的泵從96厘米/37.8英寸的高度以各種角度跌落18次。確保在運(yùn)輸過(guò)程中不會(huì)因跌落或運(yùn)輸而損壞。
無(wú)論從科技或是經(jīng)濟(jì)發(fā)展的角度來(lái)看，重要性都是不言而喻的。5G、人工智能、大數(shù)據(jù)、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展源源不斷地給半導(dǎo)體行業(yè)注入嶄新活力。真空技術(shù)作為一門與應(yīng)用科學(xué)緊密結(jié)合的現(xiàn)代基礎(chǔ)科學(xué)，在半導(dǎo)體行業(yè)有著廣泛的應(yīng)用。其中，分子泵作為很多半導(dǎo)體制造設(shè)備的零部件之一，廣泛應(yīng)用于IC生產(chǎn)制造的各個(gè)工藝。
下面小編就帶您走進(jìn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈，并一起探索分子泵在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用。半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)鏈包括上游的半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)，中游的半導(dǎo)體制造產(chǎn)業(yè)以及下游的半導(dǎo)體應(yīng)用產(chǎn)業(yè)。半導(dǎo)體支撐產(chǎn)業(yè)包括半導(dǎo)體材料及設(shè)備，其中真空產(chǎn)品主要在半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域應(yīng)用；中游半導(dǎo)體制造的是集成電路制造，包括IC設(shè)計(jì)、IC制造以及IC封測(cè)；下游的半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域眾多，半導(dǎo)體應(yīng)用領(lǐng)域的行業(yè)是通信及智能手機(jī)、PC/平板、工業(yè)/。
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